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高溫真空爐低真空和高真空
作者： 發布時間：2022-04-05 瀏覽次數：1156
高溫電爐真空系統
高溫電爐中直空系統適用干真空度在3X10~~1333Pa范圍的真空熱處
理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛，其通常由兩級真空
泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械
增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵
高溫電爐高真空系統
高真空系統適用于真空度在6.6x10~~1333X10。Pa范圍的
高溫電爐真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機組
組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機
械泵或滑閥式機械泵。
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